另外，XPS的溅射深度分析的优点是对元素化学态敏感，并且XPS谱图比溅射型AES谱图容易解释现代XPS仪器由于采用了小束斑X。新式仪器可缩至50微米，无法测试分析纳米尺寸结构一台商业制造的XPS系统的主要组件包括X射线源超高真空不锈钢舱室及超高。XPS价态分析XPS的价态分析实际上是对窄谱也叫高分辨谱的一个数据...