(xps分析基本原理)

另外，XPS的溅射深度分析的优点是对元素化学态敏感，并且XPS谱图比溅射型AES谱图容易解释现代XPS仪器由于采用了小束斑X。

新式仪器可缩至50微米，无法测试分析纳米尺寸结构一台商业制造的XPS系统的主要组件包括X射线源超高真空不锈钢舱室及超高。

XPS价态分析XPS的价态分析实际上是对窄谱也叫高分辨谱的一个数据分析，主要是对高分辨谱进行一个分峰拟合，从而得到某一。

经常写文章的时候需要写一些仪器的参数，除了常规的测试参数，还有一些一些仪器参数，为了方便大家，整理如下，以后有新的再补。

的样品一般是 10mm*10mm*5mm， 也可以更小些厚度不能超过 5mm XPS 分析室的真空度可以达到。

X射线光电子能谱技术XPS是电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术，而且是和俄歇电子能谱技术AES常常配合使。

1XPS的分析信号光电子能谱与俄歇能谱一样，都是仅能反映样品的表面成分信息光电子能谱探测样品信息深度约为1030个原子。